光學(xué)元件表面缺陷檢測(cè)儀，利用光學(xué)方法，采用權(quán)值成像數(shù)據(jù)分析原理，用來(lái)檢測(cè)光學(xué)元件的表面外觀缺陷問(wèn)題。測(cè)量時(shí)，將待測(cè)產(chǎn)品置于光學(xué)鏡頭下方，逐個(gè)采集每個(gè)產(chǎn)品表面的圖像，并對(duì)圖像進(jìn)行連續(xù)的數(shù)字化處理分析，然后與預(yù)存的“標(biāo)準(zhǔn)”進(jìn)行比較分析進(jìn)而作出缺陷結(jié)論。