SET3/1064/532/355，SFT3：激光微調(diào)機/激光修阻機/激光調(diào)阻機/激光刻阻機 

產(chǎn)品特點： 

--調(diào)阻精度高：先進的激光器提供了TEM00高光束質(zhì)量和極細線寬的激光束；四線制高速測量系統(tǒng)，測量時間僅為25us；擁有軟件預調(diào)誤差補償功能； 

--調(diào)阻速度快：先進的激光器擁有極高的重復頻率，在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度；德國進口掃描振鏡，掃描速度極快；高精度分步重復機構(gòu)，空氣軸承，移動速度及加速度快； 

--可靠性高：整機配置核心器件均采用原裝進口配置；采用花崗巖臺座，穩(wěn)定可靠； 

--功能強大：擁有溫度實時補償功能；同時具有激光劃片和打標功能； 

--運行及維護成本低廉：采用半導體端面泵浦或光纖激光器；使用壽命長，性能穩(wěn)定；電光轉(zhuǎn)換效率高，節(jié)約用電成本；采用風冷系統(tǒng)，無須外置冷卻設備；操作簡單，無須高額培訓成本； 

技術(shù)參數(shù)： 

--激光器系統(tǒng)： 

激光類型：半導體端面泵浦激光器 / 光纖激光器 

激光波長：1064/532/355nm 

激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355) 

激光頻率：200Hz-50KHz 

典型光斑尺寸：30μm 

實際切口取決于材料、光學器件和波長；可根據(jù)需要選配532綠激光或355紫外激光最小光斑達12μm 

泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時 

冷卻方式：風冷 

對焦方式：計算機程序控制 

--激光束定位系統(tǒng)： 

激光束運動范圍：75mmX75mm（可選配其他規(guī)格） 

點到點運動時間：5ms（典型） 

最大速度：7000mm/s 

重復定位精度：2.5μm 

激光束最小步進：0.76μm 

--圖像監(jiān)視系統(tǒng)： 

監(jiān)視方式：激光同軸監(jiān)視 

最大放大倍數(shù)：>100倍 

圖像監(jiān)視顯示屏：19寸液晶 

--測量系統(tǒng)： 

激勵方式：電流/電壓激勵 

恒流源：0.01μA~100mA計算機程控選擇 

恒壓源：0~20V計算機程控選擇（可選其它電壓范圍） 

電阻測量方式：四線制加電流測電壓 

直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓） 

調(diào)節(jié)對象發(fā)熱控制：程序可設定 

電阻測量精度：低阻：<0.05%+1%/R  （R<100Ω）      

中阻：<0.05% 

高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ） 

電阻測量范圍：0.01Ω-500MΩ 

電阻測量速度：25μs 

直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下） 

探針板：44針11組四線制（可選其它規(guī)格） 

探針板運動：計算機程序控制 

--計算機及軟件系統(tǒng)： 

工業(yè)控制計算機（雙核），17寸液晶 

操作系統(tǒng)：Windows XP 

VB平臺開發(fā)的可視化應用軟件，界面友好，功能強大 

--分步重復運動系統(tǒng)： 

運動XY范圍：290x260mm 

運動分辨率：1μm 

定位精度：小于6μm（帶誤差補償） 

重復定位精度：小于3μm    

最大運動速度：900mm/s 

具有溫度補償?shù)裙δ?nbsp;

--非接觸溫度測量： 

溫度測量精度：0.2℃ 

調(diào)阻溫度修正：計算機程序控制 

--其它技術(shù)指標： 

供電電壓：220V AC 

整機功耗：小于1000W 

應用和市場：主要應用于厚膜、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應用于厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電器、傳感器、軍工科研、片式電阻等行業(yè)。