技術(shù)參數(shù)X1 軸測量范圍: 50mm (CV-1000) 或 100mm(CV-2000)分辨率: 0.2μm測量方法: 反射型光柵尺驅(qū)動速度: 0.2， 1mm/s 和手動測量速度: 0.2， 0.5mm/s測量方向: 向后直線度: 3.5μm/50mm (CV-1000)，3.5μm/100mm (CV-2000)* 當(dāng)X 軸在水平方向上指示精度: ±(3.5+2L/100)μm* L 為驅(qū)動長度(mm)傾斜范圍: ±45° (CV-2000)Z2 軸(立柱，僅用于CV-2000)立柱類型: 電動(S4 型) 和手動(M4 型)垂直行程: 250mm (S4 型)， 320mm (M4 型)分辨率: 0.2μm (S4 型)測量方法: ABSOLUTE 光柵尺 (S4 型)驅(qū)動速度: 0 - 5mm/s 和手動Z1 軸 (檢測器)測量范圍: 25mm (CV-1000) 或 40mm (CV-2000)分辨率: 0.4μm (CV-1000) 或 0.5μm (CV-2000)測量方法: 弧形編碼器指示精度: ±(3.5+I4HI/25)μm(20° C 時) *H 為水平位置上的測量高度 (mm)探針上／下運作: 弧形運動探針方向: 向下測力: 10 - 30mN跟蹤角度: 向上：77°、向下：87°(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面探針)探針針尖 半徑: 25μm、硬質(zhì)合金針尖基座尺寸(W x H): 750 x 600mm (CV-2000)基座材料: 花崗巖 (CV-2000)重量: 5kg (CV-1000N2)，115.8kg (CV-2000M4)，124kg (CV-2000S4)電源: 100 - 240VAC ±10%， 50/60Hz能耗: 150W (僅限主機)  性能參數(shù)